Project Description

我们的微型图案光学滤光片综合了有专利技术保护的微型光刻技术和最先进的光学镀膜技术,使得光学系统的设计更小型化和更为简单。这一技术在单一的基片上实现了多个介质的、金属的、和彩色滤光镀膜阵列图案。

今天全新的世界级光学半导体晶圆工厂在制造这类器件时开发并运用了标准化的工艺生产流程。该工艺流程可以拓展到晶圆级玻璃或者半导体的大批量生产,每年可以交付数千万计的订制的微型图案光学器件。
我们的微型图案镀膜技术在众多的生物医疗、工业、和航天领域的应用中提高了系统的性能,并使得下一代集成光学器件更紧凑、坚固、性价比更高。

我们专注于支持我们的客户开发下一代图像和传感仪器。凭借着积累的工艺和技术,我们能够根据客户的应用或产品功能迅速设计出开发产品的有效方法,并提供技术可行性的方案。

基片:半导体晶圆、光学级玻璃、石英或者其它材料
在单个基片上需要制作的滤光波段数量(多光谱传感器)
滤光片设计参数:透过波段、和截止规格
几何特性:最小尺寸、及公差
对准精度和标识
定义如何操作、切割、测试和包装

选用置于100/1000级晶圆加工洁净室内的设备,通过订制设计,我们可以制作微米级超小像素,用于成像应用。离子辅助蒸发、磁控溅射和离子束溅射等最新的镀膜技术,以及半导体式的掩模对准器用于最大8英寸晶圆的制造工艺。

客户订制的波段:紫外、可见光、近红外、短波红外
二色分光:带通、短波通、长波通、宽带增透等
金属膜:高反射、镀黑吸收、孔径框架、中密度等

如您需要了解该产品的详细信息,请联系我们